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高級別無塵室的特點

高級別潔凈室的建造費用很高，一般來說，100級垂直單向流的潔凈室，其室內裝修（墻、頂、地、門、窗等）和空調凈化系統（包括制冷空調設備和管道配件、凈化設備和配件等）的初投資大約為1000元人民幣/M²；如果加上純水制備和系統管道，純氣發生和系統管道，廢水治理設備和管道，消防系統，供配電和自控系統，真空清掃系統等等，其單位面積的建造投資費用要高達25000~30000元人民幣/M²。

就拿已投產的上海華虹NEC超大規模集成電路芯片生產線潔凈室舉例來說，華虹NEC為月投片30000片8?硅片集成電路前工序生產線,有潔凈室面積約12000M²,其中10000M2是在中心部位,另2000M²邊跨上.在中心部位的10000 M²潔凈室中有4000 M²的1級\10級和100級的垂直單向流潔凈室,另外6000 M²分別為1000 級和10000級和非單向流潔凈室,總送風量約6,400,000M³/H.于1998年底建成投產。
 

該項目總投資約100億人民幣，其中動力設備和土建投資為20億人民幣，占總投資的五分之一。單該核心部分的10000 M²的潔凈室的建造費用就高達6000萬美元（約5億人民幣）日本三機株式社會施工），折合每平方米建造費用約50000元人民幣/M²。
 

（二）運行管理費用大
 

因為高級別潔凈室凈化風量大，新風量也大，溫濕度要求嚴格，所以空氣熱濕處理和空氣輸配的能量消耗大，耗電多，運行費用貴。
 

還拿上述華虹NEC為例，其核心部分10000M²潔凈室總的送風量為6,400,000 M³/H,輸送凈化空氣的風機耗電量為3840Kw/h,全年電費為6000萬人民幣。全年空調交貨系統本身的運行費用就高達7659萬元人民幣。折合每年單位面積費用為7659元/M²年。
 

（三）靈活適應性強
 

因為，科學技術的發展很快，高科技的產品不斷出現，尤其是電子工業的發展更是日新月異像集成電路的發展2~3年就更新一代，TFT-LCD的發展更快1~2年就上一個臺階。這就要求為其服務的高級別的潔凈室必須能適應其發展速度，有極好的靈活性和適應性。因為建造一個潔凈廠房是百年大計，不是一、二年就會拆掉重建。因此，在設計和建造潔凈廠房時，就要考慮到工藝的發展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應性。從一個潔凈廠房的靈活適應角度，可將其分為三個層次，第一是不可變的部分。無論怎樣改都不能改變的部分。如基礎、梁、柱等結構部分；第二是可變但不容易變的部分。如潔凈室的圍護、裝修等；第三是可變而且容易改變的部分。如動力、空氣、水氣體溶劑的供給部分和廢氣、廢水、廢料等排放部分。
 

（四）安全、可靠性好
 

從前面（一）、（二）兩條特點可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出等的代價。但是為了生產出高可靠、高質量的高科技產品也必須具備這樣的生產環境。因為，建造潔凈室的目的是為使用，是為了得到高成品率合格產品。為了達此目的，設計和建造潔凈室必須把安全可靠放在第一位。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風速、壓力等所有參數必須滿足生產工藝的要求，保證安全、可靠、不出事故。這一點絕有能馬虎，更不能打折扣，要萬無一失，只有這樣才能效益，才能達到建造潔凈室的目的。